Innovative Beschichtungslösungen in der PVD Arc- und Sputtertechnologie

Beschichtungstechnologien

METAPLAS-DOMINO-Serie

Das modulare Anlagenkonzept der METAPLAS-DOMINO-Serie von Sulzer Metaplas kann speziell auf individuelle Bedürfnisse und Ansprüche zugeschnitten werden. Das gesamte Spektrum der Dünnfilm Beschichtungstechnologien steht zur Verfügung. Neben PVD und PACVD Modulen, der Realisierung von Kombibehandlungen – der Kombination von PVD-Beschichtung und Plasmanitrieren – und Hybridtechnologien – der Kombination von Arc- und Sputtertechnologie – bietet das Anlagenkonzept mit seiner HIPAC (High Ionisation Plasma Assisted Coating)-Technologie einen der innovativsten Ansätze in der Oberflächenbeschichtung an.

Die HIPAC-Technologie stellt eine Weiterentwicklung des hochionisierten Prozesses HPPMS (High Power Pulsed Magnetron Sputtering) dar und wurde speziell auf industrielle Bedürfnisse ausgelegt. Sie verbindet die Vorteile der HPPMS und der patentierten hocheffizienten Ätztechnololgie AEGD (Arc-Enhanced Glow Discharge).

Diese Technik ermöglicht einen hohen Ionisationsgrad ähnlich dem Arc-Prozess. Durch die hohe Plasmadichte können besonders fehlerfreie Schichten mit hoher Dichte erzeugt werden. Die Schichten sind dabei sehr glatt und bereits ab einer Temperatur von 60°C haftfest applizierbar.
Das Zerstäuben von Metallen und anderen Beschichtungsmaterialien durch das HIPAC-Verfahren beruht auf dem Pulsen bei kleinen Frequenzen der Sollspannung (kleiner als 2 kHz) und Tastverhältnissen von weniger als 10%. Durch die durchschnittlich klein gehaltene Leistung kann eine hohe Ladungsdichte (Elektronen und Ionen) im Plasma realisiert werden. Diese Verbesserung unterstützt die Kontrolle des Abscheidungsprozesses und ermöglicht auch die Abscheidung von Hybridschichten (z.B. Arc und HPPMS). So können Schichtzusammensetzungen und Mikrostrukturen optimal zugeschnitten und verbessert werden.

Autor: Redaktion

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